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佳能安內華 M-361CP-SPN25 工業真空機真空測量傳感器介紹

發布時間:2026-05-14   點擊次數:164次

產品簡述

該設備為佳能安內華復合式真空規,集成皮拉尼規與冷陰極電離規一體化結構,用于真空系統全程壓力監測,一體式封裝,標配 NW25 連接接口。

二、測量原理

  1. 皮拉尼規:依托氣體熱傳導變化檢測氣壓,適用中低真空區間。

  2. 冷陰極電離規:電場激勵氣體電離實現高真空測量,無熱燈絲結構,規避燈絲老化燒毀問題。

  3. 內部電路自動實現雙規區間無縫切換,連續覆蓋全量程壓力檢測。

三、核心技術參數

  • 測量量程:1×10?7Pa1×105Pa

  • 供電電壓:DC 15~30V

  • 整機功耗:2.4W

  • 模擬信號輸出:0~10V 標準電壓信號

  • 開關輸出:兩路繼電器觸點輸出

  • 電氣接口:D-sub 9 針連接器

  • 連接法蘭:NW25 標準真空法蘭

  • 工作環境溫度:5℃~55℃

  • 主體結構材質:不銹鋼殼體,氧化鋁絕緣基材

四、結構與特性

  1. 無燈絲冷陰極設計,抗污染、耐水汽,適合工業及制程真空環境。

  2. 寬量程一體化設計,無需搭配多臺不同量程真空規。

  3. 內置信號處理電路,壓力數值輸出線性度好,區間切換無跳變。

  4. 模塊化傳感結構,可單獨拆裝維護,無需整體拆解真空腔體。

五、適用工況范圍

適配各類真空腔體、鍍膜設備、半導體工藝設備、真空熱處理裝置、科研真空實驗平臺的全程真空壓力實時采集與監測



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